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Dymek岱美中國(guó)儀器自動(dòng)掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:?新型IQ Aligner NT具有高強(qiáng)度和高均勻度的曝光光學(xué)器件,新的晶圓處理硬件,可實(shí)現(xiàn)全局多點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)的200mm和300mm晶圓全覆蓋范圍以及優(yōu)化的工具軟件,從而使生產(chǎn)率提高了2倍與EVG上一代IQ Aligner相比,對(duì)準(zhǔn)精度提高了2倍。該系統(tǒng)超越了晶圓凸塊和其他后端光刻應(yīng)用的蕞苛刻要求,同時(shí)與競(jìng)爭(zhēng)系統(tǒng)相比,擁有成本降低了30%。

  • 產(chǎn)品型號(hào):IQ Aligner NT
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔
  • 更新時(shí)間:2024-11-09
  • 訪  問(wèn)  量: 1368

詳細(xì)介紹

IQ Aligner NT自動(dòng)掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)是具有高度自動(dòng)化程度的非接觸式接近光刻平臺(tái),可滿(mǎn)足將生產(chǎn)線中的掩模污染降至蕞低并提高掩模壽命和產(chǎn)品良率的需求。除了多種對(duì)準(zhǔn)功能外,該系統(tǒng)還通過(guò)專(zhuān)門(mén)配置進(jìn)行了大量的的安裝和現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證,可自動(dòng)支撐和處理翹曲或變薄的晶圓。標(biāo)準(zhǔn)的頂面或底面對(duì)準(zhǔn)與集成的IR對(duì)準(zhǔn)功能之間的混合匹配操作進(jìn)一步拓寬了應(yīng)用領(lǐng)域,尤其是在與工程或粘合(鍵合)基板對(duì)準(zhǔn)時(shí)。該系統(tǒng)還通過(guò)快速響應(yīng)的溫度控制工具集支持晶圓片對(duì)準(zhǔn)跳動(dòng)控制。與EVG的上一代IQ Aligner相比,高功率光學(xué)器件的照明強(qiáng)度提高了3倍,使其成為曝光厚抗蝕劑和與處理凸點(diǎn),支柱和其他高形貌特征相關(guān)的其他膜的理想選擇。


IQ Aligner 性能特征

  • ■ 零輔助橋接工具-雙基片,支持200mm和300mm規(guī)格

  • ■ 全透明場(chǎng)掩模移動(dòng)(FCMM),實(shí)現(xiàn)靈活的圖案定位和暗場(chǎng)掩模對(duì)準(zhǔn)兼容性

  • ■ 無(wú)以倫比的吞吐量(第一次印刷/對(duì)準(zhǔn)) > 200 wph / 160 wph

  • ■ 頂/底部對(duì)準(zhǔn)精度達(dá)到 ± 250 nm / ± 500 nm

  • ■ 接近過(guò)程100%無(wú)觸點(diǎn)

  • ■ 暗場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)能力/ 全場(chǎng)清除掩模(FCMM)

  • ■ 精準(zhǔn)的跳動(dòng)補(bǔ)償,實(shí)現(xiàn)佳的重疊對(duì)準(zhǔn)

  • ■ 智能過(guò)程控制和性能分析框架軟件平臺(tái)


技術(shù)數(shù)據(jù)

楔形補(bǔ)償:全自動(dòng)-軟件控制;非接觸式

先進(jìn)的對(duì)準(zhǔn)功能:自動(dòng)對(duì)準(zhǔn);大間隙對(duì)準(zhǔn);跳動(dòng)控制對(duì)準(zhǔn);動(dòng)態(tài)對(duì)準(zhǔn)

工業(yè)自動(dòng)化功能:盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,彎曲,翹曲,邊緣晶圓處理

晶圓直徑(基板尺寸):高達(dá)300毫米

對(duì)準(zhǔn)方式:

  • 上側(cè)對(duì)準(zhǔn):≤±0.25 µm

  • 底側(cè)對(duì)準(zhǔn):≤±0.5 µm

  • 紅外校準(zhǔn):≤±2,0 µm /具體取決于基材

曝光設(shè)定:真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式

曝光選項(xiàng):間隔曝光/整片曝光

系統(tǒng)控制:

  • 操作系統(tǒng):Windows

  • 文件共享和備份解決方案/無(wú)限制的配方和參數(shù)

  • 多語(yǔ)言用戶(hù)GUI和支持:CN,DE,F(xiàn)R,IT,JP,KR

  • 實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程訪問(wèn),診斷和故障排除


應(yīng)用

IQ Aligner NT非常適合各種高級(jí)封裝類(lèi)型,包括晶圓級(jí)芯片級(jí)封裝(WLCSP),扇出晶圓級(jí)封裝(FOWLP),3D-IC /直通硅通孔(TSV),2.5D中介層和倒裝芯片。


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