欧美高清videossexo,亚洲熟女av中文字幕男人总站,韩国三级日本三级人与波,色婷婷亚洲精品天天综合影院

歡迎來到岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司網(wǎng)站!
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
咨詢熱線

4008529632

當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >    >  EVG光刻機  >  EVG610-單面、雙面光刻系統(tǒng)

EVG610-單面、雙面光刻系統(tǒng)

簡要描述:EVG610-單面、雙面光刻系統(tǒng) EVG光刻機EVG®610是一款緊湊型多功能研發(fā)系統(tǒng),可處理零碎片和大200 mm的晶圓。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 2307

詳細介紹

  EVG610-單面、雙面光刻系統(tǒng)是一款緊湊型多功能研發(fā)系統(tǒng),可處理零碎片和大200 mm的晶圓。
  一、簡介
  EVG光刻機EVG610支持各種標準光刻工藝,如真空,硬,軟接觸和接近式曝光模式,可選擇背部對準方式。此外,該系統(tǒng)還提供其他功能,包括鍵合對準和納米壓印光刻(NIL)。EVG610提供快速處理和重新加工,以滿足不斷變化的用戶需求,轉(zhuǎn)換時間不到幾分鐘。其先進的多用戶概念適合初學(xué)者到專家級各個階層用戶,非常適合大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用。
  EVG610-單面、雙面光刻系統(tǒng)
  二、EVG光刻機應(yīng)用
  MEMS,RF器件,功率器件,化合物半導(dǎo)體等方面的圖形光刻應(yīng)用。
  三、EVG光刻機特征
  晶圓/基片尺寸從零碎片到200毫米/ 8英寸
  頂部和底部對準功能
  高精度對準
  自動楔形補償序列
  電動的和程序控制的曝光間隙
  支持新的UV-LED技術(shù)
  小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求
  分步流程指引
  遠程技術(shù)支持
  多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權(quán)限,不同語言)
  敏捷的處理和轉(zhuǎn)換重新加工
  臺式或獨立式帶防振花崗巖臺面
  附加功能:
  鍵合對準
  紅外對準
  納米壓印光刻(NIL)
  四、技術(shù)參數(shù)
  1.掩模版-基板-晶圓尺寸
  掩模版尺寸:5寸/7寸/9寸
  基片/晶圓尺寸:100mm/150mm/200mm
  晶圓厚度:高達10mm
  2.對準模式
  頂部對準精度:≤ ± 0,5 µm
  底部對準精度:≤ ± 2,0 µm
  紅外對準模式:≤ ± 2,0 µm/取決于基片的材料
  3.頂部顯微鏡
  移動范圍1:100mm(X軸:32-100mm;Y軸:-50/+30mm;)
  移動范圍2:150mm(X軸:32-150mm;Y軸:-75/+30mm;)
  移動范圍1:200mm(X軸:32-200mm;Y軸:-100/+30mm;)
  可選:平坦的物鏡可以增加光程;帶有環(huán)形燈的暗場物鏡,可以增加對比度
  4.底部顯微鏡
  移動范圍1:100mm(X軸:30-100mm;Y軸:±12mm;)
  移動范圍2:150mm(X軸:30-100mm;Y軸:±12mm;)
  移動范圍1:200mm(X軸:30-100mm;Y軸:±12mm;)
  可選:平坦的物鏡可以增加光程;帶有環(huán)形燈的暗場物鏡,可以增加對比度
  5.曝光器件
  (1)波長范圍:
  NUV:350 - 450 nm
  DUV:低至200 nm (可選)
  (2)光源:
  汞燈350W , 500W UV LED燈
  (3)均勻性:
  150mm:≤ 3%
  200mm:≤ 4%
  (4)濾光片:
  汞燈:機械式
  UV LED:軟件可調(diào)
  6.曝光模式
  接觸:硬、軟接觸,真空
  曝光間隙:1 - 1000 µm
  線寬精度:1µm
  模式:CP(Hg/LED)、CD(Hg/LED)、 CT(Hg/LED) 、CI(LED)
  可選:內(nèi)部,浸入,扇形
  7.可選功能
  鍵合對準精度:≤ ± 2,0 µm
  納米壓抑光刻(NIL)精度:≤ ± 2,0 µm
  納米壓抑光刻(NIL)軟印章分辨率:≤ 50 nm圖形分辨率
  8.設(shè)施
  真空:< 150 mbar
  壓縮氣體:6 bar
  氮氣:可選2或者6 bar
  排氣要求:汞燈需要;LED不需要
  9.系統(tǒng)方式
  系統(tǒng):windows
  文件分享和軟件備份
  無限程序儲存,參數(shù)儲存在程序內(nèi)
  支持多語言,含中文
  實時遠程支持,診斷和排除故障
  10.楔形補償
  全自動- 軟件控制
  11.規(guī)格
  占地面積:0.55m2
  高度:1.01m
  重量:約250kg
  納米壓印分辨率:≤ 40 nm(取決于模板和工藝)
  支持工藝:Soft UV-NIL


 

 

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
国产后入清纯学生妹| 国产真实乱了露脸在线观看| 漂亮人妻洗澡被公强 日日躁| 亚洲成av人片在线观看无码| 久久天天躁狠狠躁夜夜av| 少妇洁白无删减版178章| 被学长c了一节课怎么办| 我和岳m大人愉情| 久久免费看少妇高潮v片特黄| 精东传媒vs天美传媒电影| 国产精品污www一区二区三区| 国产精品美女午夜爽爽爽免费| 少妇wwb搡bbbb搡bbbb| china真实videos另类| 免费无码国产欧美久久18| 日本乱偷人妻中文字幕在线| 99精品久久99久久久久| 邻居一晚让我高潮3次正常吗| 边啃奶头边躁狠狠躁av| 777久久人妻少妇嫩草av| 免费看污又色又爽又黄又脏小说| 全是肉的高h短篇列车| 性高湖久久久久久久久aaaaa| 久久人人爽人人爽人人片av| 草草久久久亚洲av成人片| 妺妺第一次啪啪好紧| 久久久久亚洲精品中文字幕| 两个人的免费视频| h动漫在线观看| 少妇高潮惨叫久久久久久| 大战熟女丰满人妻av| 麻豆国产一区二区三区四区| 欧美free性xxxx护士hd| 雯雯被四个男人拖进工地| 《善良的小峓子在钱完整版韩剧》| 国产又黄又爽又猛免费视频播放| 英语老师解开裙子坐我腿中间| 被老头一个晚上做了6次| 清区二三区国产好的精华液| 成人乱短篇500章小说| 自拍 另类 综合 欧美|